安捷倫分子泵是一種高速旋轉(zhuǎn)的機(jī)械泵，因此對(duì)平衡的要求很高，對(duì)固體異物非常脆弱，通常要在分子泵的入口處安裝金屬過(guò)濾網(wǎng)。分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。常規(guī)的分子泵使用軸承來(lái)確保葉片的高速旋轉(zhuǎn)。新型的分子泵采用磁懸浮構(gòu)造，使得葉片轉(zhuǎn)速不斷提高的同時(shí)，更使分子泵適合超高真空系統(tǒng)，也延長(zhǎng)了分子泵的使用壽命。

　　安捷倫分子泵的主要應(yīng)用范圍：

　　1、半導(dǎo)體制造

　　光刻工藝：用于創(chuàng)造和維護(hù)高真空環(huán)境，確保光刻機(jī)的精確對(duì)準(zhǔn)和曝光過(guò)程。

　　薄膜沉積（PVD/CVD）：在物理氣相沉積和化學(xué)氣相沉積過(guò)程中，提供高真空環(huán)境，防止雜質(zhì)污染。

　　刻蝕工藝：在干法或濕法刻蝕中，用于抽取反應(yīng)氣體和揮發(fā)性副產(chǎn)物。

　　離子注入：提供高真空環(huán)境，確保離子束的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

　　2、科學(xué)研究

　　表面科學(xué)：用于掃描隧道顯微鏡（STM）、原子力顯微鏡（AFM）等表面分析設(shè)備的真空系統(tǒng)。

　　材料科學(xué)：在材料生長(zhǎng)（如MBE分子束外延）和材料性能測(cè)試中，提供超高真空環(huán)境。

　　粒子物理與核物理：用于粒子加速器、同步輻射裝置等大型科學(xué)設(shè)備的真空系統(tǒng)。

　　空間模擬：在航天器環(huán)境模擬試驗(yàn)中，創(chuàng)造高真空環(huán)境以模擬太空條件。

　　3、光學(xué)與光電子領(lǐng)域

　　激光技術(shù)：用于激光器的制造和測(cè)試，提供無(wú)油污染的高真空環(huán)境。

　　光電器件制造：在LED、OLED等發(fā)光器件的封裝過(guò)程中，確保真空環(huán)境以避免氧化和污染。

　　電子顯微鏡：為透射電子顯微鏡（TEM）和掃描電子顯微鏡（SEM）提供高真空環(huán)境。

　　4、化工與制藥

　　高純度材料生產(chǎn)：在半導(dǎo)體級(jí)硅材料、高純化學(xué)品等生產(chǎn)過(guò)程中，用于去除揮發(fā)性雜質(zhì)。

　　冷凍干燥：在制藥和食品工業(yè)中，用于低溫真空干燥過(guò)程，保留物質(zhì)活性。

　　析出與結(jié)晶：在高真空條件下進(jìn)行材料的析出和結(jié)晶，提高純度和質(zhì)量。

　　5、醫(yī)療與生物技術(shù)

　　質(zhì)譜分析：在醫(yī)用質(zhì)譜儀中，用于提供高真空環(huán)境，確保分析精度。

　　冷凍電鏡（Cryo-EM）：用于生物大分子結(jié)構(gòu)的高分辨率成像，需要極低的真空環(huán)境。

　　醫(yī)療器械制造：在無(wú)菌包裝和精密零部件加工中，提供清潔的真空環(huán)境。

　　6、航空航天

　　航天器推進(jìn)系統(tǒng)測(cè)試：用于模擬太空環(huán)境，測(cè)試離子推進(jìn)器、霍爾推進(jìn)器等真空部件。

　　航空材料研發(fā)：在高溫合金、復(fù)合材料等航空材料的制備和測(cè)試中，提供高真空環(huán)境。

　　衛(wèi)星熱真空試驗(yàn)：模擬太空熱循環(huán)條件，檢驗(yàn)衛(wèi)星設(shè)備的可靠性。

　　7、能源與環(huán)保

　　核聚變研究：在托卡馬克裝置等核聚變實(shí)驗(yàn)中，提供高真空環(huán)境以維持反應(yīng)穩(wěn)定性。

　　太陽(yáng)能電池制造：用于光伏材料的沉積和封裝過(guò)程，提高電池效率和壽命。

　　環(huán)境監(jiān)測(cè)：在大氣采樣和痕量氣體分析中，提供高真空條件以提高檢測(cè)靈敏度。

　　8、其他高d制造

　　精密儀器制造：在高精度光學(xué)器件、鐘表零件等制造過(guò)程中，提供無(wú)油污染的真空環(huán)境。

　　電子束焊接與熔煉：用于高純度金屬的焊接和熔煉，避免氧化和雜質(zhì)污染。

　　納米技術(shù)：在納米材料的制備和表征中，提供超高真空環(huán)境。